真空排気ラインの経路検討(省スペース化) 2025 11/06 Inventor 真空排気ラインの経路検討(省スペース化) クライアント:半導体装置メーカー内容:既存モデルから配管ルート変更、流路・メンテナンス性改善納期:8営業日対応CAD:Inventor Inventor