スパッタ装置用ターゲット交換治具の設計支援 2026 2/04 Inventor スパッタ装置用ターゲット交換治具の設計支援 クライアント:半導体装置メーカー内容:作業性向上を目的とした専用治具の構想設計、3Dモデル作成納期:9営業日 Inventor